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PECVD管式爐實(shí)驗(yàn)圓滿成功
    發(fā)布時(shí)間: 2023-05-26 10:23    

PECVD:是借助微波或射頻等使含有薄膜成分原子的氣體電離,在局部形等離子體,而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng),很容易發(fā)生反應(yīng),在基片上沉積出所期望的薄膜。為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行,利用了等離子體的活性來(lái)促進(jìn)反應(yīng),因而這種CVD稱為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD).

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